真空泵的選型

1、真空泵的工作壓強應該（gāi）滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真（zhēn）空（kōng）度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高於真空設備真空度半個到一個數量級。
            
     2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都（dōu）有一定的工作壓強範圍，如（rú）：擴散泵（bèng）為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓（yā）強範圍內，泵的抽速隨壓強而變化，其穩（wěn）定的工作壓強範圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因（yīn）而，泵的工作點應該選（xuǎn）在這（zhè）個範圍之內，而不（bú）能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工（gōng）作（zuò），但其工作壓強應小（xiǎo）於（yú）1×10-5mmHg為好。
            
     3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
            
     4、正確地組合真空泵。由（yóu）真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用（yòng）一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來（lái），互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三（sān）極型濺（jiàn）射離子泵，（或（huò）二極型（xíng）非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組（zǔ）合（hé）起來，便會使真空裝置得到較好的真（zhēn）空度。另外，有的真空泵不（bú）能（néng）在大（dà）氣（qì）壓下工作，需要預真空；有（yǒu）的真空泵出（chū）口壓強低於大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來（lái）使用。
            
     5、真空設備對油（yóu）汙染的要求。若設備嚴格（gé）要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分（fèn）子篩吸附泵、濺（jiàn）射離子泵、低溫泵等。如果要求（qiú）不嚴格，可以選（xuǎn）擇有油泵，加上（shàng）一些防（fáng）油汙染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到（dào）清潔（jié）真空要求。
            
     6、了解被（bèi）抽氣（qì）體成（chéng）分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽（chōu）氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣（qì）體，應該（gāi）考慮在泵的進氣（qì）口管路上安裝輔助設備（bèi），如冷（lěng）凝器、除（chú）塵器等。
            
     7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的（de）影響如何。如果環境不允許有（yǒu）汙染，可以選（xuǎn）無油（yóu）真空（kōng）泵，或者（zhě）把油蒸氣排到（dào）室外。
            
     8、真空泵工作時產（chǎn）生的振動對工（gōng）藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇（zé）無振動的泵或者采取防振動措施。
            
     9、真空泵的價格、運（yùn）轉及維修費用。
            
     水環（huán）式（shì）真空泵的選擇
            
     一、泵（bèng）類型（xíng）的確定
            
     泵的類型主要由工（gōng）作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。
            
     泵工作時，需要（yào）注意以下兩個方麵：
            
     1.盡可能要求在高效區內，也就是在臨界真空度或臨（lín）界排氣壓力的區域內運行。
            
     2.應避免在大真空度或大排（pái）氣壓力附近（jìn）運行。在（zài）此區域內運行，不僅效率極低，而且工作很不穩定，易產生振動和噪音。對於真空度較高的真空（kōng）泵而言，在此區域之內運行，往往還（hái）會發生汽蝕現象，產生這種現象的明顯標誌（zhì）是泵內有噪音（yīn）和振動。汽蝕會導致泵體、葉輪等零件的損壞，以致（zhì）泵無法工作。
            
     根據以上原（yuán）則，當泵所需（xū）的真（zhēn）空度或（huò）氣（qì）體壓力不高時，可優先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高，單級（jí）泵往往不能滿足，或者，要求泵在較高（gāo）真空度情況下仍有較大（dà）氣量，即要求性（xìng）能曲線在較高真空度時（shí）較平坦，可選用兩級泵。如（rú）果真空度要求（qiú）在－710mmHg以上（shàng），可選用水環（huán）－大氣泵（bèng）或水環－羅茨（cí）真空機組作為抽真空裝置。
            
     如果（guǒ）隻作（zuò）真空泵（bèng）用，則選用單作用泵比較好。因為單作用泵的構造簡單，容易製造和維護，且在高真空情況下抗汽蝕性好。
            
     如果僅作（zuò）較大氣量的壓縮機使用，則選用雙作用的泵比較合（hé）適。因為雙作用泵的（de）氣量大，體（tǐ）積（jī）小，重量輕（qīng），徑向力能得到自動平衡，軸不（bú）容易產生疲勞（láo）斷裂（liè），泵的（de）使用壽命較長。

     二、根據係統所需的氣量選擇真空泵

     初步選定了泵的類型之後，對於（yú）真空泵，還要（yào）根據係統所需的氣量來選用泵的型號。