我國真空泵市場現狀綜（zōng）合分析

真空泵是一個量大麵廣的產品，產量很大，產值不（bú）高，但它確實是一個（gè）直接影響到（dào）真空成套設備性能質量的必不可少的基礎產品。真空泵從高/超真空到粗/低真空（kōng），其產品大致可分14大類：

高/超真空——低溫泵、分（fèn）子泵、濺射離子泵、鈦（tài）升華（huá）泵、擴散泵。

中真空——幹泵、雙級旋片泵、羅（luó）茨泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵。

粗/低真空——單級旋片泵、滑（huá）閥泵、液環泵、往複式真空泵。

真空泵的市場根據用戶的需要而發生動態變化（huà）。市場增長的主（zhǔ）要驅動力來自於（yú）半導體工業的迅速（sù）發展以及幹（gàn）泵和分子泵應用領域的日益擴大。

目（mù）前（qián），全球真空泵市（shì）場的年銷售額約20億美元，年（nián）增長率在7%左右（yòu）。

我國生產（chǎn）真空泵的廠家很多，全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右，僅（jǐn）相（xiàng）當於美國Kinney公司一家真空泵（bèng）的年（nián）銷售額。通過對全球真空（kōng）泵市場的分析我們可以（yǐ）看出，各類真空泵的市場（chǎng）及應用領域都（dōu）在不斷（duàn）變化和發（fā）展。我國真空泵（bèng）製造業有著悠久的曆史和雄厚的基礎（chǔ），國產真泵已經在各個不同領域（yù）得到應用並（bìng）經過驗證，有些泵還出口國外，得到國外用戶的認可並受到（dào）好評，應該說我國真空泵製造業在國（guó）內外市場仍然有（yǒu）著巨大的發展空間。

1.液環泵

雖然液環泵屬於粗真空泵，但在我國的石油、化工、電（diàn）力、輕紡、造紙、醫藥等領域仍然有著（zhe）很大的（de）市場。在國外（wài），液環（huán）泵（bèng）的銷（xiāo）售額占全（quán）部真空泵市場的14%，僅次於幹泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在我國投資建廠或（huò）建立銷售網絡，不斷（duàn）擴大在我國的（de）市（shì）場份額。由於（yú）液環泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動密集型產品，所以國（guó）產液環泵在價格上有競爭優勢，關（guān）鍵是要改進設計，縮小體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。

2.滑閥（fá）泵

由於滑閥泵比較耐用、可靠，國內（nèi）外各種真空爐、鍍膜機（jī）以及幹燥、浸漬等（děng）設備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工（gōng）作量較大，所以國外各真空廠都在中（zhōng）國（guó）尋找合作夥（huǒ）伴。為了使國產滑閥泵能夠進入國際市場，必須進一步降低泵的振動噪聲（shēng），杜絕噴（pēn）油和（hé）漏油，提高滑閥泵長期運行的（de）可靠性。

3.直聯（lián）旋片（piàn）泵

隨著真空技術在各個應用領域的不斷擴（kuò）大，直聯（lián）旋片泵的需求（qiú）量越來越大。由於這種泵數量很多，加工裝配工作量很（hěn）大，價格又（yòu）很低，所以有的國外真空廠商（shāng）在中（zhōng）國建立專業廠。國產中小型直聯旋片泵在技術上已經過關，價格又（yòu）遠比國外的泵便宜，所以國產泵仍然有競爭優勢，關鍵是要解（jiě）決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質量問題，確保直聯泵在高速、高溫下（xià）性（xìng）能穩定和運行可靠，同時還要進一步提高國（guó）產直聯旋片泵抽除水蒸氣（qì）的能力。

4.羅（luó）茨泵

從國外羅茨泵（bèng）生產情況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨（cí）泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅茨泵產量不大，但國外羅茨泵（bèng）的價格遠比國產泵要（yào）高（gāo）得多。目前，國內外幾乎所有大型或小型的高真（zhēn）空和中真空係統，為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配（pèi）有羅茨泵（bèng），所以國（guó）產羅茨泵一定要在占（zhàn）領國內（nèi）市（shì）場基礎上設（shè）法進入國（guó）際市場，這樣就必須進一步降低國產羅茨泵的振動噪聲（shēng），徹底解決軸封漏油問（wèn）題，改進泵的外觀質量，提高泵內的光潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些國家和地區的電源頻率為60Hz，更要確保（bǎo）羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠（kào）性。

目前，國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快，技術上已經成熟。由於這種泵在排氣口的下麵（miàn）裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻（què）的氣體通過管（guǎn）道返回泵腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得平衡，所以（yǐ）這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯使用，一（yī）般前（qián）麵加（jiā）一台氣冷式直排大氣羅茨（cí）泵，所達（dá）到的（de）極限真空要比前級（jí）泵高一（yī）個數量級。這種泵由於在泵腔內（nèi）沒有工作介質，實（shí）際上也是（shì）屬於幹泵。目前，這種（zhǒng）氣冷（lěng）式直排大氣羅茨泵及（jí）機組已經（jīng）在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機（jī）轉子動平衡、航空航天空間模（mó）擬（nǐ）等裝置上（shàng）得到（dào）了長期運行的考驗，所以應該（gāi）在國內大力推廣和應用。

5.分子泵

分子泵在國外半導（dǎo）體領域裏的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射（shè）、刻蝕和LCVD等裝置都彩複合分子泵和牽引泵作（zuò）為主泵。

由於分子泵對水蒸氣的抽速僅為（wéi）同口徑低（dī）溫泵抽速（sù）的四（sì）分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低（dī）溫冷（lěng）板（bǎn），稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子（zǐ）泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝（zhuāng）置（zhì）上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量（liàng）。隨著我國半導體工業、薄膜產（chǎn）業和科學研究事業迅速（sù）發（fā）展（zhǎn），分子泵應該是我國真空泵製造業發展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整（zhěng）係列，並研究開發各種複合分（fèn）子泵（bèng）、牽（qiān）引泵和低溫分子（zǐ）泵，以滿足不（bú）同場合的需要。

6.幹泵

國（guó）外幹泵市（shì）場的不斷（duàn）增長，其主（zhǔ）要驅動來自於半導體行業、化學工業、薄膜產業（yè）的迅（xùn）速發展。在日本，半導體行業已全部用幹式真（zhēn）空泵代（dài）替油封式機械泵，歐美半導體行業45%以上用幹式（shì）真空（kōng）泵代（dài）替了油封式機械泵，大大（dà）提（tí）高（gāo）了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求（qiú），國（guó）外有多（duō）級羅茨（cí）真空泵、多級爪式真空泵、螺杆式真空泵、渦旋式（shì）真空泵、往複式活塞真空泵以及渦（wō）輪式無油真空泵等。極限（xiàn）壓力從10Pa~10-2Pa，抽速從20m3/h~500m3/h。據統計，目前（qián）國產幹泵的應（yīng）用還不（bú）足1%，國內半（bàn）導體工業用的幹泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以，我國應大力研究開發幹泵，使幹泵成為我國真空工業（yè）新的經濟增長點。